★ 本機詳細技術參數及特點：

1.整機設計合理緊湊，可放置手套箱里。

2.不銹鋼外殼防腐，不銹鋼涂特氟龍接膠臺容易清理打理。

3.采用4.3英寸的觸摸彩色顯示屏。參數設置簡易操作。

4.獨特的程序設計，轉速帶自檢功能，可糾正電機因環境和溫度變化而產生轉速值偏離，大大提高勻膠轉速的穩定性和準確性。

5.穩定轉速范圍：500~8000轉/分，可編程。

6. 轉速穩定度：＜±1%

7.涂膠時間范圍：1~99秒，可編程。

8.電機功率：40W

9.數據記錄功能，能存儲10種旋涂程序，每步程序分8段可設置16個參數值；多達160個參數設置，及方便設定速度和加速度程序段，可存儲可任意設置。 

10. 真空托盤：具有多種材質和規格轉換真空托盤，適合φ5~150mm，或125mm×125mm方片的基片涂覆。

11.配套無油型真空泵系統，壓強抽氣速率＞60L/min

12.儀器尺寸：260×220×260 mm 

13.凈重：7.5Kg。

Spin-51型勻膠機適用于微電子、半導體、制版、新能源、生物材料、光學及表面涂覆等工藝，主要應用于實驗中的薄膜制作，其工作原理是高速旋轉基片，利用離心力使滴在基片上的膠液均勻的涂布在基片上，厚度視不同膠液和基片間的粘滯系數而不同，也和旋轉速度及時間有關?？稍诠さV企業、科研、教育等單位作生產、科研、教學之用。

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